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J-GLOBAL ID：201102289539588664   整理番号：11A0987322

ダメージフリーマルチガスプラズマジェットを用いた表面親水化および酸化膜除去

Hydrophilization and Oxide Removal using Damage-Free Multi-Gas Plasma Jet

著者 (6件)： 柴田萌 (東京工大) ,  平位英之 (東京工大) ,  高松利寛 (東京工大) ,  佐々木良太 (東京工大) ,  宮原秀一 (東京工大) ,  沖野晃俊 (東京工大)
資料名： 電気学会プラズマ研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： PST-11  号： 19-35  ページ： 89-94  発行年： 2011年05月27日 
JST資料番号： Z0951A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 標記プラズマジェットを開発し,表面処理分野への応用として,ポリイミドフィルムの表面親水化の実験を行い,ガス種による効果の違いを調べた。また水素添加プラズマを用い銅板表面の酸化膜除去実験をした。酸素,窒素およびアルゴンガスを用いた表面親水化実験では,窒素プラズマがもっとも親水化効率が高かった。XPSによる表面分析では処理後C-C結合が50%減少し,またC=O結合が40%まで増加することを示した。アルゴンプラズマによる酸化膜の除去実験では約10mm/sの処理速度を実現した。

シソーラス用語： *プラズマジェット ,  *プラズマ処理 ,  表面処理 ,  ポリイミド ,  X線光電子スペクトル ,  表面分析 ,  C-C結合 ,  C-O結合 ,  酸化膜 ,  板 ,  化学的加工 ,  酸素プラズマ ,  処理速度 ,  銅板 ,  親水化 ,  化成皮膜
準シソーラス用語： 除去速度 ,  大気圧プラズマ

分類 (1件)： プラズマ応用  (BJ02110K)

引用文献 (9件)：

• (1) H. Miyahara, T. Kageyasu, W Kumagai, K. Takimoto, E. Hotta, R. Shimada, A. Okino:“Multi-gas high purity plasma source for reduce to atmospheric plasma processing”, The Sixth Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering, p. 312, P4009 (2007).
• (2) Y. Nagata, H. Miyahara, E. Hotta and A. Okino:“Analytical Performances of High Power Pulse Multi-gas Microplasma Source”, 2008 Winter Conference on Plasma Spectrochemistry, Th06 (2008).
• (3) W. Kumagai, H. Miyahara, E. Hotta, A. Okino: “Atmospheric line remote plasma source for surface treatment”, The Sixth Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering, p. 310, P4007 (2007).
• (4) T. Takamatsu, M. Ichikawa, H. Hirai, R. Sasaki, M. Shibata, H. Miyahara, Y. Matsumoto, and A. Okino:“Sterilization Effect of Various Gas Non-thermal Plasma”, 38th IEEE International Conference on Plasma Science, (2011)
• (5) 平位英之・高松利寛・佐々木良太・宮原秀一・沖野晃俊:「ダメージフリーマルチガスプラズマジェットを用いた表面親水化および殺菌処理」, 電気学会プラズマ研究会, PST-10-066(2010)

タイトルに関連する用語 (2件)： 表面親水化 ,  酸化膜