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J-GLOBAL ID：201102290928995605   整理番号：11A1490569

温度可変時間分解PL法によるGaInNへのプラズマダメージ解析

著者 (6件)： 泉将一郎 (ソニー白石セミコンダクタ) ,  鎌田満 (ソニー白石セミコンダクタ) ,  南正樹 (ソニー) ,  辰巳哲也 (ソニー) ,  山口敦史 (金沢工大) ,  冨谷茂隆 (ソニー白石セミコンダクタ)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts of the Meeting. Japan Society of Applied Physics (CD-ROM))
巻： 72nd  ページ： ROMBUNNO.31P-M-4  発行年： 2011年08月16日 
JST資料番号： Y0055B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *光ルミネセンス ,  インジウム化合物 ,  ガリウム化合物 ,  窒化物 ,  MOCVD ,  量子井戸 ,  *プラズマエッチング ,  時間分解光ルミネセンス ,  *窒化インジウムガリウム ,  *プラズマ損傷
準シソーラス用語： *プラズマダメージ

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  半導体のルミネセンス  (BM08092S)

タイトルに関連する用語 (5件)： 可変 ,  分解 ,  PL法 ,  プラズマダメージ ,  解析