特許

J-GLOBAL ID：201103024038115936

プラズマを用いた検出方法および検出器

発明者： 沖野 晃俊 ,  宮原 秀一 ,  永田 洋一 ,  藤田 修 ,  豊浦 行雄
出願人/特許権者： 国立大学法人東京工業大学 ,  株式会社ジェイ・サイエンス・ラボ
代理人 (7件)： 中尾 俊輔 ,  伊藤 高英 ,  畑中 芳実 ,  大倉 奈緒子 ,  玉利 房枝 ,  鈴木 健之 ,  高橋 洋平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-202124
公開番号（公開出願番号）：特開2011-053078
出願日： 2009年09月01日
公開日（公表日）： 2011年03月17日
要約：

【課題】従来の検出器と比べて、更なる検出感度の向上および選択性の増大を可能とするプラズマを用いた検出方法および検出器を提供すること。【解決手段】被測定物質を含むサンプルガスおよびキャリアガスと、プラズマ発生用ガスと、プラズマ発生用ガス内に発生したプラズマとの混合体内における前記被測定物質の特性を検出することにより前記被測定物質を検出することを特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

被測定物質を含むサンプルガスおよびキャリアガスと、プラズマ発生用ガスと、プラズマ発生用ガス内に発生したプラズマとの混合体内における前記被測定物質の特性を検出することにより前記被測定物質を検出することを特徴とするプラズマを用いた検出方法。

IPC (2件)：

G01N 21/66 ,  G01N 30/74

FI (2件)：

G01N21/66 ,  G01N30/74 Z

Fターム (16件)：

2G043AA01 ,  2G043AA03 ,  2G043BA09 ,  2G043BA13 ,  2G043BA14 ,  2G043CA02 ,  2G043EA06 ,  2G043EA18 ,  2G043FA03 ,  2G043GA07 ,  2G043GB11 ,  2G043HA05 ,  2G043JA01 ,  2G043JA03 ,  2G043LA01 ,  2G043MA04

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 試料ガス化装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-120995   出願人：タマティーエルオー株式会社, 富士電機システムズ株式会社
• 特開昭60-133648
  
• 特開平3-201355
  
• イオン源
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-095110   出願人：日新電機株式会社
• 特開昭64-043962