特許
J-GLOBAL ID：201103026687382679
複数の電極を有するカンチレバーおよびその製造方法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
清水 守
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-186495
公開番号（公開出願番号）：特開2004-028830
特許番号：特許第3756470号
出願日： 2002年06月26日
公開日（公表日）： 2004年01月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 (a)探針を形成するためのカンチレバーを用意し、
(b)前記カンチレバー上に酸またはアルカリに対して容易に溶ける第1の層を形成し、
(c)前記第1の層上にホトレジストを形成してホトリソエッチングによりストライプを形成し、
(d)前記ストライプを形成した上に電子線励起堆積法によりアモルファス・カーボンを堆積させ、ブリッジを形成し、
(e)酸またはアルカリにより前記第1の層の一部を除去し、
(f)前記アモルファス・カーボンをマスクとして電極となる金属膜を蒸着し、
(g)エアーギャップを有する対向電極が形成されるカンチレバーを作製することを特徴とする複数の電極を有するカンチレバーの製造方法。
IPC (2件)：
G01N 13/16 ( 200 6.01)
, G12B 21/08 ( 200 6.01)
G01N 13/16 C
, G12B 1/00 601 D
