特許

J-GLOBAL ID：201103063770109839

光スイッチ装置

発明者： 石井 仁 ,  田辺 泰之 ,  町田 克之 ,  浦野 正美 ,  島村 俊重
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-297817
公開番号（公開出願番号）：特開2004-133212
特許番号：特許第3825388号
出願日： 2002年10月10日
公開日（公表日）： 2004年04月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 集積回路が形成された半導体基板上に絶縁膜を介して固定された支持部材、 この支持部材の上に固定された枠部及び前記枠部の内側に支持された板状の可動部を備えたミラー構造体、 前記可動部の少なくとも一部に設けられた光を反射する反射部、 前記半導体基板上に絶縁膜を介して設けられた前記可動部に対向する固定電極 から構成された光スイッチ素子と、 前記可動部及び前記固定電極に所定の電位を印加して前記光スイッチ素子を駆動する前記集積回路に組み込まれた駆動制御回路と を少なくとも備え、 前記支持部材は、前記半導体基板上に絶縁膜を介して形成された第1構造体と、この第1構造体の上に積層された第2構造体とを含む積層された複数の構造体から構成され、 前記固定電極は、 前記第1構造体と同時に形成された第3構造体より構成され、少なくとも前記第2構造体の厚さだけ前記支持部材より低く形成されている ことを特徴とする光スイッチ装置。

IPC (2件)：

G02B 26/08 ( 200 6.01) ,  B81B 3/00 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G02B 26/08 E ,  B81B 3/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-008812
  
• マイクロメカニカル式の装置のための製造方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平11-533132   出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
• 光偏向器及びこれを用いた表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-324092   出願人：日本ビクター株式会社
• 機能デバイス、その製造方法及び駆動回路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-226416   出願人：日本電気株式会社