プラズマ温度制御装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (9件)：中尾俊輔 , 伊藤高英 , 畑中芳実 , 大倉奈緒子 , 玉利房枝 , 松山允之 , 池上徹真 , 鈴木健之 , 須藤章
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-225485
公開番号（公開出願番号）：特開2010-061938
特許番号：特許第4611409号
出願日： 2008年09月03日
公開日（公表日）： 2010年03月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】プラズマ用ガスをプラズマにするプラズマ発生部と、冷却部及び加熱部からなり、前記プラズマ発生部に供給するプラズマ用ガスの温度を制御するプラズマ用ガス温度制御部と、プラズマの温度を測定する温度測定部と、を備え、前記温度測定部で測定されたプラズマの温度を前記プラズマ用ガス温度制御部にフィードバックして、プラズマ用ガスの温度を制御することにより、前記プラズマ発生部で発生するプラズマの温度を零下の温度に制御する、プラズマ温度制御装置。

IPC (3件)：