剥離装置および剥離方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：山川政樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-023155
公開番号（公開出願番号）：特開2003-224184
特許番号：特許第3583406号
出願日： 2002年01月31日
公開日（公表日）： 2003年08月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】剥離対象のシート状の基材が貼り付けられた半導体基板を固定する支持台と、この支持台表面に平行な第1の方向に移動可能に配置され、前記支持台上で前記半導体基板に貼り付けられた前記基材を押さえつける回転可能な押さえローラと、前記押さえローラと所定の位置関係で前記支持台上に所定の間隔をあけて前記第1の方向に移動可能に配置され、前記基材を巻き取る回転可能な巻き取りローラと、この巻き取りローラを駆動する巻き取り制御機構とを備え、前記基材の剥離角度に対応させて、前記押さえローラの中心線と前記巻き取りローラの中心線とで形成される平面と、前記支持台の前記基板が固定される平面との角度が固定されていることを特徴とする剥離装置。

IPC (2件)：

H01L 21/768 , H01L 21/316

FI (2件)：

H01L 21/90 P , H01L 21/316 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

偏光板剥がし装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-009332 出願人：株式会社日立製作所, 日立エレクトロニックデバイシズ株式会社
薄膜形成方法および薄膜形成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-176715 出願人：日本電信電話株式会社
偏光膜剥離方法およびその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-343778 出願人：オプトレックス株式会社, 広島オプト株式会社, エンジニアリングシステム株式会社, 株式会社モトヤマ

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