抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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近年,携帯端末などの小型薄型化および高出力化が進み,従来のファンやポンプでは不可能な狭い空間への各種気体供給の需要がある。本文では,気体ポンプ内部の音圧分布と流速分布の絶対値について,空気の粘性を考慮した有限要素解析と実験結果を比較することで,シミュレーションの精度の検証を行った。超音波気体ポンプの装置駆動の基本構成としては圧電セラミックス材料であるPZTの矩形板を接着した金属振動板と,振動板と同形状の反射板を媒質中の音波の波長よりも十分小さい厚さの薄い気体層を介して平行に配置した。振動板に長さ方向に沿ってたわみ振動を励振することで,気体層内に音場が形成し,一方向の音響流を発生させるものである。超音波空気ポンプにおいて,有限要素法によるシミュレーションを用い音圧と音響流流速の計算を行った結果,計算結果と測定結果の絶対値がよく一致した。このことより,適切な境界条件,メッシュサイズの設定により有限要素法を用いて駆動力を介することなく音響流の現象の再現が可能であることが確認できる。