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J-GLOBAL ID：201202214427868831   整理番号：12A1752270

大気圧プラズマによる酸化銅の高速還元処理

著者 (3件)： 沖野晃俊 (東京工大 大学院総合理工学研究科) ,  宮原秀一 (東京工大 大学院総合理工学研究科) ,  中島尚紀 (プラズマファクトリー)
資料名： 月刊Material Stage  (マテリアルステージ)
巻： 12  号： 7  ページ： 57-59  発行年： 2012年10月10日 
JST資料番号： L5969A  ISSN： 1346-3926  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 開発したマルチガスプラズマジェットでは高密度な水素ラジカルを生成することができる。5パーセントの水素を混合したアルゴンプラズマジェットを用いて酸化銅の還元処理を実現した。プラズマ処理前後の銅板表面をレーザRaman顕微鏡及びXPSで分析し,処理後にCuOピーク強度が大幅に低減していることを確認した。処理前後の銅板断面の透過型電子顕微鏡観察では酸化膜の膜厚は10nmから2nm程度に減少していた。また深さ方向の還元速度1600nm/sを達成した。

シソーラス用語： *プラズマ化学反応 ,  *酸化銅 ,  プラズマジェット ,  X線光電子スペクトル ,  膜厚 ,  反応速度 ,  水素 ,  アルゴン ,  混合気体 ,  ラジカル反応 ,  電子顕微鏡観察 ,  光学顕微鏡法 ,  酸化膜 ,  *プラズマ処理 ,  水素ラジカル ,  透過型電子顕微鏡法 ,  Raman顕微鏡 ,  化成皮膜
準シソーラス用語： *還元反応 ,  大気圧プラズマ

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  プラズマ応用  (BJ02110K)

引用文献 (5件)：

• 1)大気圧プラズマの技術とプロセス開発沖野晃俊監修,シーエムシー出版(2011)
• 2)沖野晃俊,佐々木良太,永田洋一,重田香織岩井貴弘,宮原秀一,大気圧マルチガスプラズマ源の開発と産業応用,プラズマ・核融合学会誌,86,40-42(2010)
• 3)プラズマファクトリー株式会社ホームページ(http://www.plasma-factory.co jp/)
• 4)柴田萌,高松利寛,佐々木良太0宮原秀一,沖野晃俊,ダメージフリーマルチガスプラズマジェットを用いた銅酸化膜の高速還元処理,応用物理学会ラズマエレクトロニクス分科会20周年記念特別シンポジウム,P-18,41(2011)
• 5)松森正史,中塚茂樹,小塩哲平,光嶋隆敏,森迫勇,誘導結合型大気圧マイクロプラズマジェットによる酸化膜の高速還元,Panasonic Technical Journal, Vol.57, No.2, P19-23 (2011)

タイトルに関連する用語 (3件)： 大気圧プラズマ ,  酸化銅 ,  還元