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J-GLOBAL ID：201202221680215557   整理番号：12A0122054

改良Stark拡幅法によるレーザ支援放電プラズマ極端紫外光源における減衰プラズマの電子温度と電子密度の推定

Estimation of electron temperature and density of the decay plasma in a laser-assisted discharge plasma extreme ultraviolet source by using a modified Stark broadening method

著者 (8件)： ZHU Qiushi (Dep. of Energy Sciences, Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN) ,  MUTO Takahiro (Dep. of Energy Sciences, Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN) ,  YAMADA Junzaburo (Dep. of Energy Sciences, Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN) ,  KISHI Nozomu (Dep. of Energy Sciences, Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN) ,  WATANABE Masato (Dep. of Energy Sciences, Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN) ,  OKINO Akitoshi (Dep. of Energy Sciences, Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN) ,  HORIOKA Kazuhiko (Dep. of Energy Sciences, Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN) ,  HOTTA Eiki (Dep. of Energy Sciences, Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 110  号： 12  ページ： 123302  発行年： 2011年12月15日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 筆者らの錫燃料レーザ支援放電プラズマ(LDP)13.5nm極端紫外光源中の最大爆縮後の電気的回復過程とプラズマ膨張挙動を調べるために,費用効果の高い分光法を開発し評価して電子温度T_eと電子密度n_eを,プラズマから同時に放射された二本のSnII分離線(5s²4f²F°_5/25s²5d²D_3/2558.9nmと5s²6d²D_5/2-5s²6p²P°_3/2556.2nm)を用いて同時に決定した。最大爆縮後50~900nsの膨張プラズマのT_eとn_eの空間分解発展をこの改良Stark拡幅法を用いて求めた。Zピンチ軸に沿った異なるn_e減衰特性に従って,陰極及び陽極方向の電極間のプラズマシェルから電子の膨張速度を~1.2×10⁴ms^-1と推定した。測定したn_eの減衰時間定数は183±24nsであった。プラズマ断熱膨張と電子衝突イオン化の理論に基づいて,次の連続正常極端紫外放射を補償するために電極間の電気的回復が必要とする最小時間間隔を70.5μsと推定した。従って,LDP極端紫外光源の最高繰返し速度は約14kHzで,これは125W/(2πsr)の出力達成を可能にする。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： Stark効果 ,  *プラズマ ,  プラズマ膨張 ,  爆縮 ,  *光源 ,  極端紫外線 ,  スペクトロスコピー ,  電子温度 ,  電子密度 ,  Zピンチ ,  減衰時間 ,  断熱膨張 ,  *プラズマ診断 ,  *EUV光源
準シソーラス用語： *レーザ支援放電プラズマ ,  *極端紫外光源 ,  分光法

分類 (1件)： プラズマ診断  (BJ02090L)

タイトルに関連する用語 (10件)： 拡幅 ,  レーザ ,  支援 ,  放電プラズマ ,  極端紫外光源 ,  減衰 ,  プラズマ ,  電子温度 ,  電子密度 ,  推定