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J-GLOBAL ID:201202233882263390   整理番号:12A0641988

金ナノ粒子プラズモン共鳴励起に基づく高分子薄膜のサブ波長ナノホール加工

著者 (7件):
資料名:
巻: 92nd  号:ページ: 654  発行年: 2012年03月09日 
JST資料番号: S0493A  ISSN: 0285-7626  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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ナノスケールにおける固体材料のレーザー加工が注目を集めている。この際光の回折限界により,加工の空間分解能が制限されるという課題がある。我々は,金ナノ粒子を用いて回折限界よりも小さい(100nm以下)ナノホールを高分子薄膜上に形成することに成功した。本研究ではナノホール密度,大きさ,位置選択的な加工の制御方法の確立を目指した。さらに金ナノ粒子を用いた場合のナノホール形成挙動と比較するために,CNTを用いたナノホール作成も行った。(著者抄録)
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分類 (2件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
固体デバイス製造技術一般  ,  アクリル樹脂 

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