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J-GLOBAL ID：201202274264285011   整理番号：12A0858707

大気圧プラズマと注目の応用 大気圧プラズマの最前線

著者 (2件)： 沖野晃俊 (東京工大) ,  中島尚紀 (プラズマファクトリー)
資料名： Optronics  (Optronics)
号： 366  ページ： 78-82  発行年： 2012年06月10日 
JST資料番号： Y0019A  ISSN： 0286-9659  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 研究や開発がさかんになっている大気圧プラズマの新しい装置を示し,応用の一例として金属酸化膜の還元処理について紹介した。特定のガスだけでなく,各種のガスや混合ガスを自由に大気圧プラズマ化できる「マルチガスプラズマ」,処理対象に放電損傷を与えずに電気を通す物質や生体にも安全にプラズマを照射できる「ダメージフリープラズマ」,温度を自由にコントロールできる「温度制御プラズマ」を開発した。また,マルチガスプラズマの応用として,5%の水素ガスを混合したアルゴンプラズマを用いて,200mm/sの高速な金属酸化膜の還元処理を実現した。

シソーラス用語： 金属酸化物 ,  表面処理 ,  還元 ,  プラズマ加工 ,  プラズマ化学反応 ,  プラズマ処理 ,  プラズマ曝露 ,  プラズマ流 ,  *プラズマ生成 ,  *プラズマ装置 ,  *プラズマ応用
準シソーラス用語： 大気圧プラズマ

分類 (2件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  プラズマ装置  (BJ02082I)

タイトルに関連する用語 (3件)： 大気圧プラズマ ,  注目 ,  応用