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J-GLOBAL ID：201302209267285374   整理番号：13A1856720

プラズマプロセスの新しい応用 新しい大気圧プラズマ装置の開発

著者 (2件)： 沖野晃俊 (東京工大 大学院総合理工学研究科) ,  宮原秀一 (プラズマコンセプト東京)
資料名： ケミカルエンジニヤリング  (Chemical Engineering (Tokyo))
巻： 58  号： 12  ページ： 904-907  発行年： 2013年12月01日 
JST資料番号： F0134A  ISSN： 0387-1037  CODEN： CMNGA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 現在までに開発されている多くの大気圧プラズマ装置では,安定なプラズマを生成しやすい,ヘリウムやアルゴンをプラズマガスに用いたもの,もしくは,特定のガスの利用に絞った装置になっている。さらに,プラズマの温度はそれほど制御できるものではなく,放電の出力やガス流量を調整することで,間接的かつおおまかに制御されてきた。そこで,特定のガスだけでなく,各種のガスやさまざまな混合ガスを自由に大気圧プラズマ化できる「マルチガスプラズマ」や,プラズマのガス温度を自由にコントロールできる「温度制御プラズマ」などを開発した。本稿では,これらのプラズマを始めとした,新しい大気圧プラズマ装置について紹介した。新しい大気圧プラズマ装置,マルチガス高純度熱プラズマ,マルチガスダメージフリープラズマジェット,リニア型ダメージフリープラズマ,温度制御プラズマなどについて解説した。

シソーラス用語： プラズマ処理 ,  利用 ,  大気プラズマ ,  *プラズマ装置 ,  技術開発 ,  プラズマ生成 ,  プラズマ温度 ,  流量制御 ,  温度制御 ,  熱プラズマ ,  プラズマジェット ,  プラズマ
準シソーラス用語： *プラズマプロセス ,  応用 ,  *大気圧プラズマ

分類 (3件)： プラズマ装置  (BJ02082I) ,  プラズマ一般  (BJ02010B) ,  化学プロセスの解析  (XC01030R)

タイトルに関連する用語 (4件)： プラズマプロセス ,  応用 ,  大気圧プラズマ ,  開発