文献

J-GLOBAL ID：201302217418572950   整理番号：13A1577957

プラズマCVDによるシリコンナノ粒子合成:収率,粒径分布,結晶性の最適化

Plasma Synthesis of Silicon Nanoparticles: Optimization of Yield, Size Distribution, and Crystallinity

著者 (5件)： 山田陸 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  GRESBACK Ryan (東京工大 大学院理工学研究科) ,  YI Ding (東京工大 大学院理工学研究科) ,  岡崎健 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  野崎智洋 (東京工大 大学院理工学研究科)
資料名： 日本機械学会論文集 B編(Web)  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series B (Web))
巻： 79  号： 804  ページ： 1616-1623 (WEB ONLY)  発行年： 2013年 
JST資料番号： U0183A  ISSN： 1884-8346  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： プラズマCVDを用いた新しいナノ粒子合成法を開発し,四塩化ケイ素(SiCl4)を水素で還元することでサイズがそろったシリコンナノ粒子(Si NPs)を連続気相合成することに成功した。Si NPsの粒径と結晶性は反応時間(または総ガス流量)と消費電力により独立に制御できるが,Si NPsの収率はこれらの比で決まる比投入エネルギーによって統一的に整理されることを明らかにした。質量分析計によるガス分析ならびに反応器壁に形成される薄膜の解析から,収率は原料であるSiCl4の分解反応の促進および反応器内壁に形成される薄膜(Siのロス)のバランスによって決まることを明らかにし,最大で約50%のSi NPsの収率を得た。(著者抄録)

シソーラス用語： プラズマ ,  *化学蒸着 ,  *ケイ素 ,  *ナノ粒子 ,  合成 ,  収率 ,  粒度分布 ,  結晶度 ,  水素 ,  還元 ,  気相 ,  太陽電池 ,  記憶素子 ,  実験装置

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (17件)：

• (1) Walkin, M. V., Jorne, J., and Fauchet, P. M., Allan, G., and Delerue, C., “Electronic States and Luminescence in Porous Silicon Quantum Dots: The Role of Oxygen”, Physical Review Letters, Vol. 82, No. 1 (1999), pp. 197-200.
• (2) Pavesi, L., Dal Negro, L., Mazzoleni, C., Franzò, G., and Priolo, F., “Optical Gain in Silicon Nanocrystals”, Nature, Vol. 408 (2000), pp. 440-444.
• (3) Heitmann, J., Müller, F., Zacharias, and M., Gösele, U., “Silicon Nanocrystals: Size Matters”, Advanced Materials, Vol. 17, No. 7 (2005), pp. 795-803.
• (4) Cho, E. C., Green, M. A., Conibeer, G., Song, D., Cho, Y. H., Scardera, G., Huang, S., Park, S., Hao, X. J., Huang, Y., and Dao, L. V., “Silicon Quantum Dots in a Dielectric Matrix for All-Silicon Tandem Solar Cells”, Advances in OptoElectronics, Vol. 2007 (2007), 69578.
• (5) Canham, L. T., “Silicon Quantum Wire Array Fabrication by Electrochemical and Chemical Dissolution of Wafers”, Applied Physics Letters, Vol. 57, No. 10 (1990), pp. 1046-1048.

タイトルに関連する用語 (7件)： プラズマCVD ,  シリコン ,  ナノ粒子合成 ,  収率 ,  粒径分布 ,  結晶性 ,  最適化