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J-GLOBAL ID：201402217557175831   整理番号：14A0408933

ドロプレット試料導入法に適した自励式高周波電源によるICPの発生と電源の発振周波数変動の評価

ICP Generation and Evaluation of Oscillation Frequency Shift Using Free-running RF-generator for Droplet Sample Introduction

著者 (4件)： 宮原秀一 (東京工業大学大学院総合理工学研究科創造エネルギー専攻) ,  鏑木結貴 (東京工業大学大学院総合理工学研究科創造エネルギー専攻) ,  岩井貴弘 (東京工業大学大学院総合理工学研究科創造エネルギー専攻) ,  沖野晃俊 (東京工業大学大学院総合理工学研究科創造エネルギー専攻)
資料名： 分析化学
巻： 63  号： 2  ページ： 101-107 (J-STAGE)  発行年： 2014年 
JST資料番号： F0008A  ISSN： 0525-1931  CODEN： BNSKAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 生体細胞や大気粉塵などの個別分析を目的として,誘導結合プラズマ(ICP)の中心軸上に一粒ずつ100% の導入効率で射出導入できるドロプレットネブライザをICP-原子発光分析(AES)装置あるいはICP-質量分析(MS)装置の試料導入系として使用する場合,ドロプレットサイズが従来の試料導入法と比べて大きいため,水晶発振式高周波発振器によるICPではプラズマが消失するなどの問題が生じた.これは,ドロプレット導入に伴うインピーダンスの変化によりマッチングがずれる事が原因であると考えられた.そこで本研究では,安定したドロプレット導入のために自励式高周波電源によるICPの生成実験を行った.自励式ICPは,ドロプレット導入によるインピーダンスの変化に,共振周波数の変動により瞬時に対応できるため,安定したプラズマ生成が可能である.本報では,自励式ICPの基本特性として,プラズマガスにヘリウム,アルゴンを用い,高周波電力(RF-power)やプラズマガス流量などのプラズマ運転条件が発振周波数に与える影響を調査した.その結果,ヘリウム,アルゴンいずれのICPでもRF-powerを増大させると発振周波数が約150 kHz上昇し,一方,キャリヤーガス流量を増大させると約20 kHz減少することが明らかとなった.また,プラズマガス流量を増大させると,アルゴンICPでは発振周波数が20 kHz減少するのに対し,ヘリウムICPでは10 kHz増加することが確認できた.(著者抄録)

シソーラス用語： *誘導結合プラズマ ,  *電源装置 ,  ヘリウム ,  アルゴン ,  液滴 ,  試料導入 ,  流量 ,  共振周波数 ,  *プラズマ生成 ,  キャリアガス ,  水晶発振器 ,  自励発振 ,  インピーダンス ,  発振周波数 ,  *プラズマ
準シソーラス用語： ICP ,  高周波電源

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  プラズマ一般  (BJ02010B)

引用文献 (16件)：

• 1) H. Haraguchi : J. Anal. At. Spectrom., 19, 5 (2004).
• 2) 原口紘旡 : 金属,77, 255 (2007).
• 3) 宮原秀一,重田香織,中島尚紀,永田洋一,沖野晃俊 : 分析化学 (Bunseki Kagaku), 59, 363 (2010).
• 4) K. Shigeta, H. Traub, U. Panne, A. Okino, L. Rottmann, N. Jakubowski : J. Anal. At. Spectrom., 28, 646 (2013).
• 5) 宮原秀一,沖野晃俊 : 分光研究,56, 266 (2007).

タイトルに関連する用語 (6件)： 試料導入 ,  自励 ,  高周波電源 ,  ICP ,  発振周波数 ,  評価