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J-GLOBAL ID：201402228517943382   整理番号：14A0369646

Sr_xSiO_x+2層の化学組成と膜中固定電荷の相関

著者 (12件)： 谷脇将太 (兵庫県大) ,  豊嶋祐樹 (兵庫県大) ,  堀田育志 (兵庫県大) ,  堀田育志 (JST-CREST) ,  吉田晴彦 (兵庫県大) ,  吉田晴彦 (JST-CREST) ,  新船幸二 (兵庫県大) ,  新船幸二 (JST-CREST) ,  小椋厚志 (明治大) ,  小椋厚志 (JST-CREST) ,  佐藤真一 (兵庫県大) ,  佐藤真一 (JST-CREST)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 61st  ページ： ROMBUNNO.18A-E12-8  発行年： 2014年03月03日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 化学組成 ,  *電荷 ,  *ケイ酸ストロンチウム ,  キャリア再結合 ,  半導体材料 ,  レーザ蒸着 ,  *太陽電池 ,  不動態皮膜 ,  ウエハ【IC】 ,  パルスレーザ蒸着 ,  *固定電荷 ,  シリコンウエハ ,  化成皮膜
準シソーラス用語： Siウエハ ,  不動態化膜

分類 (1件)： 太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (3件)： 化学組成 ,  固定電荷 ,  相関