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J-GLOBAL ID：201402229022273930   整理番号：14A0720720

長鎖ジアミンを含む含フッ素ポリアミック酸と含フッ素ジアゾナフトキノンを用いたアルカリ現像可能な感光性ポリイミド

著者 (6件)： 井上雄介 (東京工大 大学院) ,  石田良仁 (東京工大 大学院) ,  東原知哉 (東京工大 大学院) ,  亀山敦 (東京工大 大学院) ,  安藤慎治 (東京工大 大学院) ,  上田充 (東京工大 大学院)
資料名： 高分子学会予稿集(CD-ROM)  (高分子学会討論会予稿集(CD-ROM))
巻： 63  号： 1  ページ： ROMBUNNO.1PH100  発行年： 2014年05月09日 
JST資料番号： Z0703C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *芳香族カルボン酸 ,  カルボアミド ,  *アミド酸 ,  *有機フッ素化合物 ,  *芳香族アミン ,  *第一アミン ,  *フェノールエーテル ,  共重縮合 ,  *ポリアミド酸 ,  *フォトレジスト ,  水溶液 ,  溶解速度 ,  可溶化剤 ,  ケイ素 ,  ウエハ【IC】 ,  水素結合 ,  *現像 ,  *6FDAポリイミド ,  多価フェノール
準シソーラス用語： *6FDA-ODA-APBポリイミド ,  *芳香族ポリアミド酸

分類 (2件)： その他の高分子の反応  (CG03040H) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (5件)： 4,4′-オキシジアニリン ,  カテコール【フェノール】 ,  テトラメチルアンモニウムヒドロキシド ,  4,4′-(p-フェニレンビスオキシ)ビスアニリン ,  ビス(5-オキソ-6-ジアゾ-5,6-ジヒドロナフタレン-1-スルホン酸)(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ビス(p-フェニレン)

タイトルに関連する用語 (7件)： 長鎖 ,  ジアミン ,  フッ素 ,  ポリアミック酸 ,  アルカリ ,  現像 ,  感光性ポリイミド