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J-GLOBAL ID：201402262321794730   整理番号：14A0370982

プラズマ光と表面の相互作用の解明

著者 (10件)： ZHANG Yan (名古屋大 工) ,  石川健治 (名古屋大 工) ,  関根誠 (名古屋大 工) ,  深沢正永 (ソニー) ,  長畑和典 (ソニー) ,  冨谷茂隆 (ソニー) ,  辰巳哲也 (ソニー) ,  竹田圭吾 (名古屋大 工) ,  近藤博基 (名古屋大 工) ,  堀勝 (名古屋大 工)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 61st  ページ： ROMBUNNO.19A-F6-5  発行年： 2014年03月03日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： プラズマ相互作用 ,  発光 ,  顕微鏡観察 ,  膜厚 ,  臭化水素 ,  *表面粗さ ,  真空紫外線 ,  紫外線照射 ,  *プラズマエッチング ,  イオン照射 ,  *プラズマ-表面相互作用 ,  プラズマ発光 ,  原子間力顕微鏡法

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： プラズマ ,  相互作用