- 2022 - 2025 細穴内面プラズマ表面加工のスマートプロセス化
- 2018 - 2021 高移動度InNチャネルに向けた高密度ラジカル照射下における初期成長機構の解明
- 2015 - 2018 カーボンナノウォールシートエッジエレクトロニクスの創成と単一細胞の分化誘導制御
- 2012 - 2017 プラズマ医療のための気相・表界面反応ダイナミクスの計測と体系化
- 2013 - 2016 プラズマ微細加工におけるナノ揺らぎ制御に係わるプラズマ科学の創成
- 2013 - 2015 気液プラズマ照射下におけるバイオマテリアル形態変化のその場電子顕微鏡観察
- 2013 - 2015 ナノカーボン多層構造物を用いた超小型炭素水素化合物センサーの開発
- 2012 - 2015 プラズマ照射下その場原子分解能観察による垂直成長ナノグラフェン成長素過程の解明
- 2009 - 2011 シリコン系エンジニアリングサブストレート実現のための材料・物性・構造制御技術
- 2006 - 2009 ナノシステム機能化High-kゲート/歪制御ゲルマニウムチャネル構造の創成
- 2007 - 2008 ナノスケールULSIデバイスのためのミクタミクト合金電極・配線の創成
- 2006 - 2008 非熱平衡原子固溶プロセスに基づく超高速伸張歪Geチャネルの創成
- 2003 - 2005 IV族半導体極微細プロセスに向けた固相反応のダイナミクス制御とCエンジニアリング
- 2001 - 2004 単一電子トラップ直視技術の開発とそれを用いた極薄ゲート絶縁膜の劣化機構の解明
- 2001 - 2004 単一電子トラップ直視技術の開発とそれを用いた極薄ゲート絶縁膜の絶縁劣化機構の解明
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