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J-GLOBAL ID：201402276984620044   整理番号：14A0226541

電子線描画パターンを用いたプラズモニック結晶の作製とセンサ応用

Fabrication Electron Beam Lithography Pattern-based Plasmonic Crystal for Sensing Application

著者 (4件)： 遠藤達郎 (大阪府立大学大学院 工学研究科) ,  滝澤光 (東京工業大学大学院 総合理工学研究科) ,  柳田保子 (東京工業大学大学院 総合理工学研究科) ,  初澤毅 (東京工業大学大学院 総合理工学研究科)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 133  号： 12  ページ： 374-375 (J-STAGE)  発行年： 2013年 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 筆者らは局在表面プラズモン共鳴(LSPR)励起が可能なコア・シェル構造基板を作製し,化学センサ・バイオセンサへの応用を実現してきた。しかし,コア・シェル構造基板は,LSPRが可能である反面,粒子間距離や形状の制御が困難であり,さらなるLSPR励起効率向上に向けた構造設計に課題があった。本論文では,電子線描画装置を用いて結晶様構造パターンを描画した後,金属を堆積させたプラズモニック結晶を作製し,センサ性能評価を行った。その結果,筆者らがこれまでに開発したコア・シェル構造基板よりも優れたセンサ性能を示すプラズモニック結晶を作製することに成功した。さらに,センサ性能評価結果から,さらに高感度な化学センサ・バイオセンサ開発が可能であることが示唆された。

シソーラス用語： 技術 ,  *電子ビームリソグラフィー ,  *プラズマ共鳴 ,  *表面プラズモン ,  結晶 ,  *化学センサ ,  バイオセンサ ,  高感度 ,  屈折率 ,  局在表面プラズモン共鳴 ,  プラズモニック結晶
準シソーラス用語： プラズモニクス ,  LSPR

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (8件)：

• (1) E. Petryayeva and U. J. Krull : “Localized surface plasmon resonance: Nanostructures, bioassays and biosensing—A review”, Anal. Chim. Acta., Vol. 706, No. 1, pp. 8-24 (2011)
• (2) T. Endo, H. Takizawa, Y. Imai, Y. Yanagida, and T. Hatsuzawa : “Study of electrical field distribution of gold-capped nanoparticle for excitation of localized surface plasmon resonance”, Appl. Surf. Sci., Vol. 257, No. 7, pp. 2560-2566 (2011)
• (3) T. Endo, S. Yamamura, N. Nagatani, Y. Morita, Y. Takamura, and E. Tamiya : “Localized surface plasmon resonance based optical biosensor using surface modified nanoparticle layer for label-free monitoring of antigen-antibody reaction”, Sci Technol Adv Mat., Vol. 6, No. 5, pp. 491-500 (2005)
• (4) T. Endo, K. Kerman, N. Nagatani, Y. Takamura, and E. Tamiya,: “Label-free detection of peptide nucleic acid-DNA hybridization using localized surface plasmon resonance based optical biosensor”, Anal. Chem., Vol. 77, No. 21, pp. 6976-6984 (2005)
• (5) T. Endo, K. Kerman, N. Nagatani, H. M. Hiepa, D. K. Kim, Y. Yonezawa, K. Nakano, and E. Tamiya : “Multiple label-free detection of antigen-antibody reaction using localized surface plasmon resonance-based core-shell structured nanoparticle layer nanochip”, Anal. Chem., Vol. 78, No. 18, pp. 6465-6475 (2006)

タイトルに関連する用語 (4件)： 電子線描画 ,  プラズモニック結晶 ,  作製 ,  応用