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J-GLOBAL ID：201402294310020236   整理番号：14A0371237

β-FeSi₂の電気特性-膜厚依存性

著者 (12件)： 嘉藤貴史 (東京工大 フロンティア創造共同研セ) ,  稲村太一 (東京工大 フロンティア創造共同研セ) ,  佐々木亮人 (東芝マテリアル) ,  青木克明 (東芝マテリアル) ,  角嶋邦之 (東京工大) ,  片岡好則 (東京工大) ,  西山彰 (東京工大) ,  杉井信之 (東京工大) ,  若林整 (東京工大) ,  筒井一生 (東京工大) ,  名取研二 (東京工大 フロンティア創造共同研セ) ,  岩井洋 (東京工大 フロンティア創造共同研セ)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 61st  ページ： ROMBUNNO.19P-D3-11  発行年： 2014年03月03日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ケイ化物 ,  *鉄化合物 ,  *半導体薄膜 ,  *電気特性 ,  膜厚 ,  キャリア密度 ,  スパッタ蒸着 ,  *ケイ化鉄 ,  膜厚依存性

分類 (3件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  半導体の結晶成長  (BK13040X) ,  半導体結晶の電気伝導  (BM03043X)

タイトルに関連する用語 (2件)： 電気特性 ,  膜厚依存性