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J-GLOBAL ID：201502208634968210   整理番号：15A1045830

ClF₃中性クラスタービームによる斜めエッチング

著者 (8件)： 瀬木利夫 (京大 大学院) ,  山本洋揮 (大阪大 産科研) ,  古澤孝弘 (大阪大 産科研) ,  吉野裕 (岩谷産業) ,  妹尾武彦 (岩谷産業) ,  小池国彦 (岩谷産業) ,  青木学聡 (京大 大学院) ,  松尾二郎 (京大 大学院)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 76th  ページ： ROMBUNNO.14P-4E-6  発行年： 2015年08月31日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *エッチング ,  入射 ,  クラスタ ,  *クラスタビーム ,  *フッ化塩素 ,  微細加工 ,  精密加工 ,  パターン形成 ,  レジスト ,  電子顕微鏡観察 ,  走査電子顕微鏡 ,  斜め入射
準シソーラス用語： 異方性エッチング ,  中性クラスタ

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  原子・分子のクラスタ  (BH09030O) ,  その他の粒子光学  (BD02080I)

タイトルに関連する用語 (3件)： 中性クラスター ,  ビーム ,  エッチング