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J-GLOBAL ID：201502210969064205   整理番号：15A1189597

気相-液相-固相成長機構による酸化ガリウムナノ構造の成長と形態制御

Growth and Morphology Control of β-Ga₂O₃ Nanostructures by Vapor-liquid-solid Growth Mechanism

著者 (6件)： 寺迫智昭 (愛媛大 大学院理工学研究科) ,  大森裕也 (愛媛大 工) ,  河崎雄樹 (愛媛大 工) ,  佐伯拓哉 (愛媛大 工) ,  門田直己 (愛媛大 工) ,  矢木正和 (香川高専)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 115  号： 195(EMD2015 30-59)  ページ： 63-68  発行年： 2015年08月20日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 金属ガリウムと水を原料,スパッタリング金(Au)薄膜を触媒に用いた大気圧化学気相堆積法によるβ相酸化ガリウム(β-Ga₂O₃)ナノワイヤー(NWs)の成長実験が,基板種,Au薄膜の膜厚,成長温度及び成長時間を成長パラメータとして行われた。透過型電子顕微鏡観察及び制限視野電子線回折測定による局所構造解析によって単結晶β-Ga₂O₃ナノワイヤーが気相-液相-固相(VLS)成長機構を介して成長していることが確認された。成長温度によるAu微粒子サイズの変化,気相-固相(VS)成長機構によるNW側面への薄膜堆積,基板とNWとのエピタキシャル関係がナノ構造の形態の多様性の要因であることが明らかになった。(著者抄録)

シソーラス用語： *気相 ,  *液相 ,  *固相 ,  *機構 ,  *酸化ガリウム ,  *ナノ構造 ,  化学蒸着 ,  気圧 ,  ナノワイヤ ,  電子顕微鏡観察 ,  制限視野回折 ,  構造解析 ,  金属薄膜 ,  パラメータ ,  生長パラメータ ,  金膜 ,  透過型電子顕微鏡法 ,  *相
準シソーラス用語： 金薄膜 ,  *成長機構 ,  透過型電子顕微鏡観察

分類 (2件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I) ,  金属薄膜  (BK14030T)

引用文献 (19件)：

• R. Roy, V. E. F. Osborn, Polymorphism of Ga₂O₃ and the System Ga₂O₃-H₂O, J. Am. Chem. Soc. Vol.74, No.3, pp.719-722, Feb. 1952.
• 東脇正高,“酸化ガリウムパワーデバイス研究開発の現状と今後“,電子情報通信学会誌,Vol.97,No.3,pp.205-208,Mar.2014.
• Y. Kokubun, K. Miura, F. Endo, S. Nakagomi, Sol-gel prepared β-Ga₂O₃ thin films for ultraviolet photodetectors, Appl. Phys. Lett. Vol.90, No.3, art. no. 031912, Jan. 2007.
• T. Oshima, T. Okuno, S. Fujita, Ga₂O₃ Thin Film Grown on c-Plane Sapphire Substrates by Molecular Beam Epitaxy for Deep-Ultraviolet Photodetectors, Jpn. J. Appl. Phys. Vol.46, No.11, pp.7217-7220, Nov. 2007.
• M. Fleischer, H. Mexiner, A selective CH₄ sensor using semiconducting Ga₂O₃ thin films based on temperature switching of multigas reactions, Sens. Actuators B, Vol.25, No.1-3, pp.544-547, Apr. 1995.

タイトルに関連する用語 (7件)： 気相 ,  液相 ,  固相成長 ,  酸化ガリウム ,  ナノ構造 ,  成長 ,  形態制御