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J-GLOBAL ID:201502265294717768   整理番号:15A0424514

2次元周期配列導体細線の実効媒質定数の解析

Analysis of Effective Material Property for Two Dimensional Periodic Arrays of Metal Strips
著者 (3件):
資料名:
巻: 114  号: 431(OPE2014 152-201)  ページ: 321-325  発行年: 2015年01月22日 
JST資料番号: S0532B  ISSN: 0913-5685  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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近年,シリコン(Si)CMOS技術の微細化によるFET動作周波数の向上に伴って,低コスト化が期待されるCMOSチップを用いたミリ波帯RF回路の研究・開発が進んでいる。CMOSチップ内にある金属細線は波長に比して細いが,密度が高いので特性に与える影響は無視できない。本報告では,金属細線の影響を考慮するために,CMOSチップ内の金属細線の単位セル(周期構造の1周期)の固有値解析を行って実効媒質定数の計算を行う。例として,SiO2に埋め込まれた金属細線の解析を行った。細線は異方性を有しており,軸方向は金属と同等,軸と垂直な方向はSiO2よりも高い実効誘電率になることがわかった。実効媒質定数の計算の確認のために,平行平板内に100個の金属細線およびその実効媒質を挿入したモデルのSパラメータの計算結果を比較し,両者はよく一致していることを確認した。(著者抄録)
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分類 (2件):
分類
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マイクロ波・ミリ波通信  ,  半導体集積回路 
引用文献 (8件):
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