特許
J-GLOBAL ID:201503002551588510
有機半導体膜及びその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
アクシス国際特許業務法人
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-059300
公開番号(公開出願番号):特開2015-185620
出願日: 2014年03月20日
公開日(公表日): 2015年10月22日
要約:
【課題】均質性の高い単結晶性有機半導体膜を提供する。【解決手段】有機半導体を3-クロロチオフェンに溶かして有機半導体溶液を調製する工程1と、基板表面上に前記有機半導体溶液を付着する工程2と、基板表面上の前記有機半導体溶液から3-クロロチオフェンを蒸発させる工程3と、を含む有機半導体膜の製造方法をとることによって、1mm2当たりの面積中に存在するドメイン数が10以下である単結晶性有機半導体膜を形成する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
1mm2当たりの面積中に存在するドメイン数が10以下である単結晶性有機半導体膜。
IPC (5件):
H01L 21/368
, H01L 51/05
, H01L 51/40
, H01L 29/786
, H01L 21/336
FI (6件):
H01L21/368 L
, H01L29/28 100A
, H01L29/28 310J
, H01L29/78 618B
, H01L29/78 618Z
, H01L29/78 618A
Fターム (25件):
5F053AA50
, 5F053DD19
, 5F053FF01
, 5F053GG01
, 5F053HH05
, 5F053LL10
, 5F053RR20
, 5F110AA01
, 5F110BB01
, 5F110DD01
, 5F110DD02
, 5F110DD05
, 5F110FF02
, 5F110GG05
, 5F110GG06
, 5F110GG12
, 5F110GG25
, 5F110GG28
, 5F110GG29
, 5F110GG42
, 5F110GG58
, 5F110HK01
, 5F110HK02
, 5F110HK21
, 5F110HK32
引用特許:
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