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J-GLOBAL ID：201602214344476592   整理番号：16A0929650

ClF₃中性クラスタービームによる斜めピラー構造の作成

著者 (7件)： 瀬木利夫 (京大 大学院) ,  荘所正 (岩谷産業) ,  小池国彦 (岩谷産業) ,  山本洋揮 (大阪大 産科研) ,  古澤孝弘 (大阪大 産科研) ,  青木学聡 (京大 大学院) ,  松尾二郎 (京大 大学院)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 77th  ページ： ROMBUNNO.13p-P4-4  発行年： 2016年09月01日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *フッ化塩素 ,  *クラスタビーム ,  クラスタ ,  *ナノ構造 ,  *エッチング ,  柱 ,  入射角 ,  *ナノメータ加工 ,  単結晶 ,  ケイ素 ,  パターン形成 ,  ナノピラー ,  立体
準シソーラス用語： 中性クラスタ ,  *異方性エッチング

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  原子ビーム,分子ビーム  (BH01020Z)

タイトルに関連する用語 (3件)： 中性クラスター ,  ビーム ,  ピラー