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J-GLOBAL ID：201602219491664613   整理番号：16A0284113

Fe層を挿入したTiN電極とpGaNの電流電圧特性

著者 (5件)： 池内勇太 (東京工大) ,  若林整 (東京工大) ,  筒井一生 (東京工大) ,  岩井洋 (東京工大) ,  角嶋邦之 (東京工大)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 63rd  ページ： ROMBUNNO.22A-W541-3  発行年： 2016年03月03日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 素子構造 ,  鉄 ,  チタン化合物 ,  窒化物 ,  *電極 ,  P型半導体 ,  窒化ガリウム ,  化合物半導体 ,  電流電圧特性 ,  マスク ,  *パターン形成 ,  熱処理条件 ,  *多層構造 ,  *接触抵抗 ,  *界面 ,  HEMT ,  金属-半導体界面

分類 (1件)： その他の電気・電子部品  (NA05090R)

タイトルに関連する用語 (2件)： TiN ,  電流電圧特性