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J-GLOBAL ID：201602231863363275   整理番号：16A0930369

スパッタMoS₂膜に対する有機硫黄化合物を用いた硫化アニール効果

著者 (11件)： 石原聖也 (明治大) ,  石原聖也 (日本学術振興会) ,  日比野祐介 (明治大) ,  澤本直美 (明治大) ,  大橋匠 (東京工大) ,  松浦賢太郎 (東京工大) ,  町田英明 (気相成長) ,  石川真人 (気相成長) ,  須藤弘 (気相成長) ,  若林整 (東京工大) ,  小椋厚志 (明治大)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 77th  ページ： ROMBUNNO.14p-A33-10  発行年： 2016年09月01日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *硫化モリブデン ,  *半導体薄膜 ,  スパッタリング ,  *スパッタ蒸着 ,  有機硫黄化合物 ,  硫化 ,  焼なまし ,  可視光 ,  機械的強度 ,  共有結合 ,  光学顕微鏡法 ,  電気特性 ,  透明度 ,  不純物 ,  *硫化モリブデン(IV)
準シソーラス用語： *二硫化モリブデン

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (5件)： スパッタ ,  MoS2 ,  有機硫黄化合物 ,  硫化 ,  アニール効果