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J-GLOBAL ID：201602247620967404   整理番号：16A1013130

プラズマを利用する表面処理技術 大気圧プラズマ表面処理装置の開発

著者 (4件)： 宮原秀一 (東京工大 未来産技研) ,  沖野晃俊 (東京工大 未来産技研) ,  宮原秀一 (プラズマコンセプト東京) ,  沖野晃俊 (プラズマコンセプト東京)
資料名： 機能材料  (Function & Materials)
巻： 36  号： 10  ページ： 43-55  発行年： 2016年10月05日 
JST資料番号： Y0021A  ISSN： 0286-4835  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 大気圧プラズマは真空容器や排気システムを必要とせず,プラズマを処理対象物に直接照射することが可能である。このため,処理装置は簡便になり,かつ連続的な処理が実現できるため,産業応用を考えた場合のメリットは極めて大きい。さらに,比較的温度が低く,放電損傷も少ない大気圧プラズマ装置が開発された結果,ここ5年ほどの間に,大気圧プラズマの研究と産業応用が飛躍的に進んでいる。本稿では,表面処理用に開発された大気圧プラズマ源とその応用事例について,最新の結果を報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： *表面処理 ,  プラズマ源 ,  *プラズマ処理 ,  プラズマジェット ,  プラズマ ,  熱プラズマ ,  レジスト ,  混合気体 ,  大気圧プラズマジェット ,  マイクロプラズマ ,  低温プラズマ
準シソーラス用語： *大気圧プラズマ

分類 (2件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： プラズマ ,  表面処理 ,  大気圧プラズマ ,  表面処理装置 ,  開発