交互原料供給法による酸化スズおよびβ酸化ガリウムナノワイヤーのVLS成長とフォトルミネッセンス特性

寺迫智昭; 河野幸輝; 矢木正和

文献

J-GLOBAL ID：201702258708945418 整理番号：17A1000584

交互原料供給法による酸化スズおよびβ酸化ガリウムナノワイヤーのVLS成長とフォトルミネッセンス特性

VLS Growth of SnO₂ and β-Ga₂O₃ Nanowires by Alternate Source Supply and Their Photoluminescence Properties

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巻： 117 号： 148(CPM2017 21-38) ページ： 73-78 発行年： 2017年07月14日
JST資料番号： S0532B ISSN： 0913-5685 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

酸化スズ(SnO₂)およびβ相酸化ガリウム(β-Ga₂O₃)ナノワイヤー(NWs)の気相-液相-固相(VLS)成長が,大気圧CVD法での金属(スズあるいはガリウム)蒸気と水蒸気の交互供給によって行われた。SnO₂とβ-Ga₂O₃NWsに対して同時原料供給(SSS)法に比べて交互原料供給(ASS)法において直径方向成長の活性化エネルギーが低下した。またASS法で成長したSnO₂NWsの平均直径はサイクル数に依存しないことも確認された。これらの結果は,ASS法が気相-固相成長機構によって生じるNWs平均直径の増大を抑制するのに有効であることを示唆している。ASS法で成長したSnO₂とβ-Ga₂O₃NWsのフォトルミネッセンス(PL)スペクトルは,それぞれオレンジ色(OB)発光と青緑色(BB)発光が支配的であった。フォトルミネッセンス励起スペクトル及び光音響(PA)スペクトルからOB発光の励起及び放射再結合過程にフォノンが強く結合していることが明らかになった。(著者抄録)

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固体デバイス製造技術一般 , 発光素子

引用文献 (20件)：

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