特許
J-GLOBAL ID：201703000496627316
原子発光検出器用マイクロプラズマ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
中尾 俊輔
, 伊藤 高英
, 畑中 芳実
, 大倉 奈緒子
, 前野 房枝
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-131589
公開番号（公開出願番号）：特開2015-004648
特許番号：特許第6167272号
出願日： 2013年06月24日
公開日（公表日）： 2015年01月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 金属板からなる一対の対向電極の間および両外側面に誘電体からなる誘電板をそれぞれ配置した積層体において、積層方向に貫通して形成された貫通孔からなるプラズマ発生室と、
前記プラズマ発生室の一方の開口部から前記プラズマ発生室に対してプラズマ生成用ガスを導入するプラズマ生成用ガス導入部と、
前記積層体の前記プラズマ発生室の他方の開口部が開口している外側面と所定の間隙を形成した状態で設けられた透明板と、
前記透明板を隔てて前記プラズマ発生室の前記積層体の積層方向における中心軸と同軸に設けられた光ファイバーとを備え、
前記プラズマ生成用ガス導入部から前記プラズマ発生室の内部にプラズマ生成用ガスを導入するとともに、前記一対の対向電極に対して電圧を印加することにより、前記プラズマ発生室内に発生したマイクロプラズマの発光を前記光ファイバを通して検出するように形成されていることを特徴とする原子発光検出器用マイクロプラズマ装置。
IPC (2件)：
G01N 21/67 ( 200 6.01)
, H05H 1/24 ( 200 6.01)
