TMAHによる表面処理のp型GaN/金属コンタクト特性への影響

清水孝; 星井拓也; 角嶋邦之; 若林整; 岩井洋; 筒井一生

文献

J-GLOBAL ID：201802239728489714 整理番号：18A1699819

TMAHによる表面処理のp型GaN/金属コンタクト特性への影響

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資料名：
巻： 79th ページ： ROMBUNNO.20p-331-11 発行年： 2018年09月05日
JST資料番号： Y0055B ISSN： 2758-4704 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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半導体-金属接触 , 固体デバイス製造技術一般

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