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J-GLOBAL ID：201802259230241740   整理番号：18A1415227

X線自由電子レーザーナノ集光システムの開発

著者 (16件)： 中村南美 (大阪大) ,  松山智至 (大阪大) ,  井上陽登 (大阪大) ,  湯本博勝 (高輝度光科学研究セ) ,  犬伏雄一 (高輝度光科学研究セ) ,  犬伏雄一 (理研 播磨研) ,  小山貴久 (高輝度光科学研究セ) ,  大坂泰斗 (理研 播磨研) ,  井上伊知郎 (理研 播磨研) ,  登野健介 (高輝度光科学研究セ) ,  登野健介 (理研 播磨研) ,  大橋治彦 (高輝度光科学研究セ) ,  矢橋牧名 (高輝度光科学研究セ) ,  矢橋牧名 (理研 播磨研) ,  石川哲也 (理研 播磨研) ,  山内和人 (大阪大)
資料名： 精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集  (精密工学会関西地方学術講演会講演論文集)
巻： 2018  ページ： 88-89  発行年： 2018年06月29日 
JST資料番号： L6024A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： X線自由電子レーザーは超高ピーク強度を有しているが,更なる高度利用化に向けて集光技術の発展が望まれる。極限集光を目指すにあたり,集光ミラーの形状誤差とアライメント精度の双方が非常に重要視される。これまでの研究開発によって,既に回折限界集光が可能なミラー作製に成功している。実用的なビーム利用のために,微粒子からのコヒーレント散乱を利用したビーム診断手法とこれを用いたミラーアライメントの検討を行った。その結果,焦点深度を1μm精度で評価でき,さらに最も許容誤差の厳しい入射角誤差を±1μrad以下の必要精度で計測することができた。これを用いてミラーアライメントを最適化することに成功した。(著者抄録)

シソーラス用語： *X線自由電子レーザ ,  *集光器 ,  干渉性散乱 ,  *焦点深度 ,  精度 ,  鏡
準シソーラス用語： アライメント精度 ,  コヒーレント散乱

分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (3件)： X線自由電子レーザー ,  集光 ,  開発