Siを混入したHfO<sub>2</sub>のMIMキャパシタの容量特性

岩塚春樹; 水谷一翔; 星井拓也; 宗田伊理也; 若林整; 筒井一生; 角嶋邦之

文献

J-GLOBAL ID：201802268360145198 整理番号：18A1700620

Siを混入したHfO₂のMIMキャパシタの容量特性

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巻： 79th ページ： ROMBUNNO.21p-145-12 発行年： 2018年09月05日
JST資料番号： Y0055B ISSN： 2758-4704 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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LCR部品

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Siを混入したHfO2のMIMキャパシタの容量特性

Siを混入したHfO₂のMIMキャパシタの容量特性