スパッタの低パワー化によるMoS<sub>2</sub>薄膜のキャリヤ濃度低減

坂本拓朗; 大橋匠; 松浦賢太朗; 宗田伊理也; 角嶋邦之; 筒井一生; 若林整

文献

J-GLOBAL ID：201802279825268262 整理番号：18A0633897

スパッタの低パワー化によるMoS₂薄膜のキャリヤ濃度低減

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資料名：
巻： 65th ページ： ROMBUNNO.20a-C202-6 発行年： 2018年03月05日
JST資料番号： Y0054B ISSN： 2758-4704 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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その他の無機化合物の薄膜

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