特許
J-GLOBAL ID：201803004624126697
解析方法、解析プログラム、および解析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
棚井 澄雄
, 大浪 一徳
, 伏見 俊介
, 西澤 和純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-156441
公開番号（公開出願番号）：特開2018-025434
出願日： 2016年08月09日
公開日（公表日）： 2018年02月15日
要約：
【課題】簡易かつ正確に解析対象の特性を解析することができる解析方法、解析プログラム、および解析装置を提供すること。【解決手段】第1周波数の交流電気信号を第1コイルに印加して解析対象を励磁し、前記解析対象に第1渦電流を生成し、前記第1渦電流により発生した磁界により第2コイルに発生した電圧に応じた第1電気的状態量を測定し、第2周波数の交流電気信号を前記第1コイルに印加して前記解析対象を励磁し、前記解析対象に第2渦電流を生成し、前記第2渦電流により発生した磁界により前記第2コイルに発生した電圧に応じた第2電気的状態量を測定し、前記第1電気的状態量および前記第2電気的状態量に基づいて、前記解析対象の厚さ方向の特性を解析する、解析方法。【選択図】図10
請求項（抜粋）：
第1周波数の交流電気信号を第1コイルに印加して解析対象を励磁し、前記解析対象に第1渦電流を生成し、
前記第1渦電流により発生した磁界により第2コイルに発生した電圧に応じた第1電気的状態量を測定し、
第2周波数の交流電気信号を前記第1コイルに印加して前記解析対象を励磁し、前記解析対象に第2渦電流を生成し、
前記第2渦電流により発生した磁界により前記第2コイルに発生した電圧に応じた第2電気的状態量を測定し、
前記第1電気的状態量および前記第2電気的状態量に基づいて、前記解析対象の厚さ方向の特性を解析する、
解析方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (17件)：
2F063AA16
, 2F063BA14
, 2F063BA15
, 2F063BB02
, 2F063DA01
, 2F063DA05
, 2F063DD03
, 2F063GA08
, 2G053AA11
, 2G053AB21
, 2G053BA03
, 2G053BA15
, 2G053BC02
, 2G053BC14
, 2G053CA03
, 2G053CB10
, 2G053CB13
審査官引用 (9件)
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特開昭63-139202
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膜厚測定装置、及び膜厚測定方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2008-027764
出願人：株式会社東京精密
-
表面処理評価装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2010-048519
出願人：株式会社豊田中央研究所
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