文献
J-GLOBAL ID:201902211217300204
整理番号:19A0475206
Cr-N薄膜ひずみゲージ触覚センサの感度と温度特性評価
Characterization of Sensitivity and Temperature Stability of Tactile Sensor Using Cr-N Thin Film
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著者 (4件):
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資料名:
号:
TER-19-001-008/MSS-19-001-008 交通・電気鉄道研究会/マイクロマシン・センサシステム研究会
ページ:
27-29
発行年:
2019年02月28日
JST資料番号:
Z0924B
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)
シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
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分類 (2件):
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制御機器一般
, 筋骨格系・皮膚モデル
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