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J-GLOBAL ID:201902211217300204   整理番号:19A0475206

Cr-N薄膜ひずみゲージ触覚センサの感度と温度特性評価

Characterization of Sensitivity and Temperature Stability of Tactile Sensor Using Cr-N Thin Film
著者 (4件):
資料名:
号: TER-19-001-008/MSS-19-001-008 交通・電気鉄道研究会/マイクロマシン・センサシステム研究会  ページ: 27-29  発行年: 2019年02月28日 
JST資料番号: Z0924B  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (2件):
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制御機器一般  ,  筋骨格系・皮膚モデル 

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