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J-GLOBAL ID：201902225107867378   整理番号：19A0593446

イットリウム酸水素化物エピタキシャル薄膜における太陽光照射による大きな抵抗減少

著者 (8件)： 小松遊矢 (東京工大) ,  清水亮太 (東京工大) ,  清水亮太 (JST-さきがけ) ,  西尾和記 (東京工大) ,  宮内雅浩 (東京工大) ,  MARKUS Wilde (東大 生産技研) ,  福谷克之 (東大 生産技研) ,  一杉太郎 (東京工大)
資料名： 日本表面真空学会学術講演会講演要旨集  (日本表面真空学会学術講演会要旨集)
巻： 2018  ページ： 187  発行年： 2018年11月19日 
JST資料番号： L1308B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *酸化イットリウム ,  *水素化物 ,  *薄膜 ,  太陽光 ,  *光照射 ,  *電気抵抗 ,  マグネトロンスパッタリング ,  応答 ,  *エピタキシャル膜 ,  反応性マグネトロンスパッタリング
準シソーラス用語： *イットリウム酸化物 ,  光応答

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  その他の無機化合物の電気伝導  (BM03044O)

タイトルに関連する用語 (6件)： イットリウム ,  酸 ,  水素化物 ,  エピタキシャル ,  薄膜 ,  太陽光