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J-GLOBAL ID：201902226817815516   整理番号：19A2712910

X線自由電子レーザーナノ集光システムの開発-蛍光X線の強度干渉現象を利用したビーム径決定手法の検討-

著者 (13件)： 中村南美 (大阪大 大学院工学研究科) ,  松山智至 (大阪大 大学院工学研究科) ,  井上陽登 (大阪大 大学院工学研究科) ,  井上伊知郎 (理化研 播磨研) ,  大坂泰斗 (理化研 播磨研) ,  山田純平 (理化研 播磨研) ,  湯本博勝 (高輝度光科学研究セ) ,  小山貴久 (高輝度光科学研究セ) ,  大橋治彦 (高輝度光科学研究セ) ,  矢橋牧名 (高輝度光科学研究セ) ,  矢橋牧名 (理化研 播磨研) ,  石川哲也 (理化研 播磨研) ,  山内和人 (大阪大 大学院工学研究科)
資料名： 精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集  (精密工学会関西地方学術講演会講演論文集)
巻： 2019  ページ： 82-83  発行年： 2019年06月28日 
JST資料番号： L6024A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： X線自由電子レーザーは超高ピーク輝度を持つ全く新しいX線光源であり,更なる高度利用化のためにはこれに特化した集光技術の開発が必要である.10nm以下の極限集光を目指すにあたり,集光ビーム径の計測が不可欠である.我々は,蛍光X線の強度干渉現象を利用したビーム径決定手法を新たに考案した.本手法により計測されたビーム径は,ワイヤースキャン法により計測された値と良い一致を示した.(著者抄録)

シソーラス用語： *X線自由電子レーザ ,  放射光施設 ,  走査 ,  固有X線 ,  CCDカメラ ,  計測 ,  *集光 ,  干渉 ,  SACLA【レーザ】 ,  SPring-8 ,  ビーム幅
準シソーラス用語： ワイヤースキャン ,  蛍光X線

分類 (1件)： レーザ一般  (BD04030T)

タイトルに関連する用語 (8件)： X線自由電子レーザー ,  集光 ,  開発 ,  蛍光X線 ,  干渉 ,  現象 ,  ビーム径 ,  手法