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【背景と目的】現在、結晶シリコン太陽電池のスライスプロセスにおいて、マルチダイヤモンドワイヤーソーを用いた技術が主流となっている[1]。太陽電池におけるスライスプロセスではウェーハの薄型化が課題であるが、薄型化に伴いウェーハの破損が懸念され...【本文一部表示】