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J-GLOBAL ID：201902242032063609   整理番号：19A1620513

Cr-N薄膜ひずみゲージを用いたMEMS触覚センサの感度向上

著者 (7件)： 米原洸平 (新潟大) ,  木藤潤 (新潟大) ,  藤橋智哉 (新潟大) ,  高橋春暁 (新潟大) ,  安部隆 (新潟大) ,  丹羽英二 (電磁研) ,  寒川雅之 (新潟大)
資料名： 日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム(CD-ROM))
巻： 9th  ページ： ROMBUNNO.01pm1-PN-152  発行年： 2018年10月30日 
JST資料番号： L8358B  ISSN： 2432-9495  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： これまで我々が開発を行ってきたNiCr薄膜ひずみゲージを用いたカンチレバー触覚センサでは,出力が小さいという課題があり,今回,NiCrより高いゲージ率を持つCr-N薄膜を用いたセンサを作製・評価した。(著者抄録)

シソーラス用語： MEMS ,  *センサ ,  触覚 ,  クロム化合物 ,  窒化物 ,  *歪計 ,  感度 ,  窒化クロム

分類 (1件)： 制御機器一般  (IC02010N)

タイトルに関連する用語 (6件)： Cr ,  薄膜 ,  ひずみゲージ ,  MEMS ,  触覚センサ ,  感度向上