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J-GLOBAL ID：201902254205231051   整理番号：19A1366115

大気圧CVD法による酸化スズナノワイヤーのVLS成長とガスセンシング特性

VLS Growth of SnO₂ Nanowires by Atmospheric-pressure CVD and Their Gas-sensing Properties

著者 (7件)： 寺迫智昭 (愛媛大 大学院理工学研究科) ,  倉重利規 (愛媛大 大学院理工学研究科) ,  丸井秀之 (愛媛大 工) ,  真鍋豪 (愛媛大 工) ,  矢木正和 (香川高専) ,  森雅美 (愛媛大 工) ,  定岡芳彦 (愛媛大 社会連携推進機構)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 119  号： 34(ED2019 10-26)  ページ： 15-20  発行年： 2019年05月09日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 酸化スズナノワイヤー(SnO₂NWs)をスズ(Sn)粉末と水(H₂O)を原料,金(Au)を触媒に用いた大気圧CVD法によって気相-液相-固相(VLS)成長した.VLS成長と競合する気相-固相(VS)成長の寄与によって成長時間の増加および成長温度の上昇とともにNWsの直径は増加した.SnO₂NWsのフォトルミネッセンス(PL)スペクトルでは,酸素(O)空孔あるいは格子間Sn原子による強く局在したオレンジ色発光が支配的であり,その強度は成長時間の増加や成長温度の上昇とともに強くなった.as-grown SnO₂NWsを用いたエタノールガスセンサでは,素子温度350°Cにおいて最高検出感度が得られ,検出限界は~0.4ppmと見積もられた.またAuナノ粒子による表面修飾がガスセンサの検出感度の向上と素子温度の低減に有効であることが明らかになった.(著者抄録)

シソーラス用語： *化学蒸着 ,  *酸化スズ ,  *ナノワイヤ ,  *VLS成長 ,  光ルミネセンス ,  スペクトル ,  *ガスセンサ ,  検出限界 ,  *APCVD
準シソーラス用語： CVD【化学蒸着】 ,  フォトルミネセンス ,  フォトルミネセンススペクトル ,  *大気圧化学蒸着

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

引用文献 (13件)：

• C. Ferekides, J. Britt, CdTe solar cells with efficiencies over 15%, Sol. Energy Mat. Sol. Cells, vol. 35, issue C, pp.252-262, September 1994.
• W. Göpel, K. D. Schierbaum, SnO₂ sensors: current status and future prospects, Sens. Actuators B, vol. 26, issue 1-3, pp.1-12, 1995.
• E.N. Dottoli, Q. Wan, W. Guo, Y. Chen, X. Pan, W. Lu, Full transparent thin film transistor devices based on SnO₂ nanowires, Nano Lett., vol. 7, issue 8, pp.2463-2469, August 2007.
• F. Gu, S.F. Wang, H.K. Lü, Y.X. Qi, G.J. Zhou, D. Xu, D.R. Yuan, Luminescent characteristics of Eu3+ in SnO₂ nanoparticles, Opt. Mater., vol.25, issue 1, pp.59-64, February 2004.
• N. Yamazoe, K. Shimanoe, New prospective of gas sensor technology, Sens. Actuators B, vol.138, issue 4, pp.100-107, April 2009.

タイトルに関連する用語 (6件)： 大気圧 ,  CVD法 ,  酸化スズ ,  ナノワイヤー ,  VLS成長 ,  センシング