特許
J-GLOBAL ID:201903000466194460
有機半導体膜及びその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
アクシス国際特許業務法人
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-059300
公開番号(公開出願番号):特開2015-185620
特許番号:特許第6590361号
出願日: 2014年03月20日
公開日(公表日): 2015年10月22日
請求項(抜粋):
【請求項1】チエノアセンである有機半導体を3-クロロチオフェンに溶かして有機半導体溶液を調製する工程1と、
基板表面上に前記有機半導体液を付着する工程2と、
基板表面上の前記有機半導体液から3-クロロチオフェンを蒸発させる工程3と、
を含むチエノアセンの単結晶性有機半導体膜の製造方法。
IPC (4件):
H01L 51/40 ( 200 6.01)
, H01L 51/05 ( 200 6.01)
, H01L 21/336 ( 200 6.01)
, H01L 29/786 ( 200 6.01)
FI (6件):
H01L 21/368 L
, H01L 29/28 100 A
, H01L 29/28 310 J
, H01L 29/78 618 A
, H01L 29/78 618 B
, H01L 29/78 618 Z
引用特許:
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