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J-GLOBAL ID：202002216792298025   整理番号：20A1046730

創案と開発〈先端機器開発〉零下から高温まで温度制御が可能な大気圧マルチガスプラズマ

Atmospheric Multi-gas Plasma That Can Control Temperature from Below Zero Degree to High Temperature.

著者 (1件)： 沖野晃俊 (東京工大 未来産技研)
資料名： ぶんせき
号： 5  ページ： 165-169  発行年： 2020年05月05日 
JST資料番号： S0128B  ISSN： 0386-2178  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・2006年以降急速に進展してきた大気圧プラズマの利用と,大気圧低温プラズマの開発,温度制御プラズマ装置の考案と開発経緯,および装置構成。
・液体窒素ではなく,零下20°C程度の冷媒を用いたガスの冷却およびプラズマ装置自体の冷却を行える大気圧マルチガス温度制御プラズマの開発と,プラズマ源の3Dプリンタを用いた製作。
・マルチガス温度制御プラズマを用いて試料を採取,イオン化し,質量分析を行う表面付着物の測定法と低い検出下限値で測定することができた分析例。

シソーラス用語： *大気プラズマ ,  *温度制御 ,  *プラズマ装置 ,  プラズマ源 ,  3Dプリンタ ,  付加製造 ,  表面分析 ,  付着物 ,  検出限界 ,  質量分析 ,  *大気圧低温プラズマ
準シソーラス用語： *低温大気圧プラズマ

分類 (3件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  プラズマ装置  (BJ02082I) ,  有機化合物の物理分析  (CC03034A)

引用文献 (19件)：

• A.Montaser編:′′誘導結合プラズマ質量分析法′′,(化学工業日報社),(2000).
• 沖野晃俊,宮武健一郎,内田照雄,南茂夫:分光研究,43,23(1994).
• 沖野晃俊,石塚博明,堀田栄喜,嶋田隆一:分析化学,45,473(1996).
• 沖野晃俊 監修:′′大気圧プラズマ技術とプロセス開発′′,(シーエムシー出版),(2011).
• 末永祐磨,守屋翔平,沖野晃俊,高松利寛 著(分担):′′大気圧プラズマの基礎,高分子の表面処理・改質と接着性′′,(R&D 支援センター),(2019).

タイトルに関連する用語 (4件)： 創案 ,  開発 ,  温度制御 ,  大気圧