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J-GLOBAL ID：202002220835394913   整理番号：20A0847419

Cr-N薄膜ひずみゲージ触覚センサにおける感度・温度特性の熱処理温度依存性

Sensitivity and temperature Characteristics of Tactile Sensor with Cr-N Thin Film Depending on Annealing Temperature

著者 (5件)： 本間遼 (新潟大) ,  米原洸平 (新潟大) ,  安部隆 (新潟大) ,  丹羽英二 (電磁研) ,  寒川雅之 (新潟大)
資料名： 日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム(CD-ROM))
巻： 10th  ページ： ROMBUNNO.20am2-PN3-43  発行年： 2019年11月19日 
JST資料番号： L8358B  ISSN： 2432-9495  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 前回,Cr-N薄膜をひずみゲージとして用いることにより,MEMS触覚センサの感度向上が可能であることを報告した。本研究では,Cr-N薄膜の製膜後熱処理温度に対する感度及び抵抗温度係数の変化を調べた。(著者抄録)

シソーラス用語： MEMS ,  *クロム合金 ,  窒素含有合金 ,  *金属薄膜 ,  歪計 ,  *触覚センサ ,  熱処理 ,  加熱温度 ,  *電気抵抗 ,  温度依存性 ,  *センサ

分類 (2件)： 制御機器一般  (IC02010N) ,  電気的性質  (WB02010Y)

タイトルに関連する用語 (8件)： Cr ,  薄膜 ,  ひずみゲージ ,  触覚センサ ,  感度 ,  温度特性 ,  熱処理温度 ,  依存性