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J-GLOBAL ID：202002222151489944   整理番号：20A2240743

非平衡プラズマが拓くパラダイム-薄膜トランジスタ形成から医療,異材接合まで-

著者 (4件)： 竹中弘祐 (大阪大 接合科研) ,  節原裕一 (大阪大 接合科研) ,  内田儀一郎 (名城大 理工) ,  江部明憲 (イー・エム・ディ)
資料名： 生産と技術  (季刊誌生産と技術)
巻： 72  号： 4 上巻  ページ： 15-19  発行年： 2020年10月10日 
JST資料番号： F0270A  ISSN： 0387-2211  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・プラズマ生成制御技術を活用して,超大面積プラズマ源の開発と機能性材料の低温で低ダメージでの高品位プロセスの実現のための表界面制御プロセスを開発。
・低ダメージのプラズマをスパッタ製膜プロセスに重畳した反応性スパッタ製膜プロセスへの応用を紹介。
・放電の高度時空間制御と生体分子との相互作用の解明に基づく系統的研究によって生体適合性に優れた医療用大気圧非平衡プラズマ源の開拓。
・プラズマの医療応用,大気圧非平衡プラズマの評価,新規プラズマ源の開発を念頭に反応性ラジカルの高効率生成を目指し,高周波電圧を用いて駆動するプラズマジェットを開発。
・上記の大気圧非平衡プラズマ源を用いた応用研究である金属(ステンレス鋼,炭素鋼など)と樹脂(有機材料,炭素繊維強化樹脂)のプラズマ熱圧着による接合プロセスを開発。

シソーラス用語： *プラズマ ,  薄膜トランジスタ ,  *異種材料接合 ,  プラズマ生成 ,  機能材料 ,  プラズマ源 ,  制御 ,  反応性スパッタリング ,  製膜 ,  放電 ,  分子 ,  生体適合性 ,  大気プラズマ ,  プラズマジェット ,  ステンレス鋼 ,  炭素鋼 ,  炭素繊維強化プラスチック ,  生体分子 ,  熱圧着 ,  *低温プラズマ
準シソーラス用語： 医療 ,  界面制御 ,  *非平衡プラズマ

分類 (1件)： プラズマ応用  (BJ02110K)

引用文献 (7件)：

• 菅井秀郎編,プラズマエレクトロニクス(オーム社,東京,2005)著
• S. Toyokuni, Y. Ikehara, F. Kikkawa and M. Hori: Plasma Medical Science (Academic Press, 2017).
• T. Kamiya, K. Nomura, and H. Hosono, Sci. Technol. Adv. Mater. 11 (2010) 044305.
• Y. Setsuhara, T. Shoji, A. Ebe, S. Baba, N. Yamamoto, K. Takahashi, K. Ono, and S. Miyake, Surf. Coat. Technol. 174-175 (2003) 33-39.
• K. Takenaka, M. Endo, H. Hirayama, G. Uchida, A. Ebe, and Y. Setsuhara, Jpn. J. Appl. Phys. 58, (2019) 090605/1-5.

タイトルに関連する用語 (4件)： 非平衡プラズマ ,  パラダイム ,  薄膜トランジスタ ,  医療