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J-GLOBAL ID:202002242010939630   整理番号:20A2237390

単結晶Si太陽電池の薄型化へ向けたスライスダメージ評価

Slicing damage evaluation for thin Si solar cells
著者 (13件):
資料名:
巻: 67th  ページ: ROMBUNNO.13a-A403-5  発行年: 2020年02月28日 
JST資料番号: Y0054B  ISSN: 2758-4704  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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【背景と目的】現在、結晶シリコン太陽電池のスライスプロセスにおいて、マルチダイヤモンドワイヤーソーを用いた技術が主流となっている[1]。シリコンウェハーの薄型化によって低コスト化が見込めるが、それに伴いウェハーの破損が懸念される。 薄型ウ...【本文一部表示】
シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
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分類 (2件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
固体デバイス製造技術一般  ,  太陽電池 

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