文献
J-GLOBAL ID：202102213344088163
整理番号：21A2216305
MEMS触覚センサの校正処理手法の実装と評価
Implementation and Evaluation of Calibration Processing Method for MEMS Tactile Sensor
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著者 (4件)：
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資料名：
号：
MSS-21-036-047 マイクロマシン・センサシステム研究会
ページ：
13-16 (WEB ONLY)
発行年：
2021年07月23日
JST資料番号：
U2358A
資料種別：
会議録 (C)
記事区分：
原著論文
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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著者らが開発したMEMS触覚センサは,センサに印加した力に対応する電圧値の出力セットを可能にする。しかし,これらの値は,圧力とせん断力のような加えた力を直接表す訳ではない。したがって,センサ出力を力に変換するための校正処理が必要である。本論文は,力変換のための微分方程式を解くことなく,校正マトリックスを作り出す方法を提案した。(翻訳著者抄録)
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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分類 (1件)：
分類
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計測機器一般
引用文献 (2件)：
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M. Sohgawa, A. Nozawa, H. Yokoyama, T. Kanashima, M. Okuyama, T. Abe, H. Noma, and T. Azuma: “Multimodal Measurement of Proximity and Touch Force by Light-and Strain-sensitive Multifunctional Mems Sensor”, IEEE Sensors 2014, pp.1749-1752(2014)
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H. Tachibana, S. Kamanaru, T. Mima, M. Sohgawa, T. Kanashima, M. Okuyama, Y. Yamashita, M. Noda, H. Noma, M. Higuchi : “Fabrication and Basic Characteristics of Multiaxial Tactile Sensor with 3 Cantilevers”, T.IEEJapan, Vol.130-E, No.6,pp223-229(2010-6)(inJapanese)橘弘人・釜鳴志朗・美馬達也・寒川雅之・金島岳・奥山雅則・山下馨・野田実・野間春生・樋口誠良:「3方向カンチレバーを用いた多軸触覚センサの作製と基礎特性」,電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌),130巻,6号,p.223-229,2010
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