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J-GLOBAL ID：202102213344088163   整理番号：21A2216305

MEMS触覚センサの校正処理手法の実装と評価

Implementation and Evaluation of Calibration Processing Method for MEMS Tactile Sensor

著者 (4件)： 河内彪博 (立命館大) ,  安藤潤人 (立命館大) ,  野間春生 (立命館大) ,  寒川雅之 (新潟大)
資料名： 電気学会研究会資料(Web)  (Papers of Technical Meeting, IEE Japan (Web))
号： MSS-21-036-047 マイクロマシン・センサシステム研究会  ページ： 13-16 (WEB ONLY)  発行年： 2021年07月23日 
JST資料番号： U2358A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 著者らが開発したMEMS触覚センサは,センサに印加した力に対応する電圧値の出力セットを可能にする。しかし,これらの値は,圧力とせん断力のような加えた力を直接表す訳ではない。したがって,センサ出力を力に変換するための校正処理が必要である。本論文は,力変換のための微分方程式を解くことなく,校正マトリックスを作り出す方法を提案した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *触覚センサ ,  *MEMS ,  *キャリブレーション ,  実装 ,  圧力 ,  剪断力 ,  行列 ,  *センサ

分類 (1件)： 計測機器一般  (AD02000X)

引用文献 (2件)：

• M. Sohgawa, A. Nozawa, H. Yokoyama, T. Kanashima, M. Okuyama, T. Abe, H. Noma, and T. Azuma: “Multimodal Measurement of Proximity and Touch Force by Light-and Strain-sensitive Multifunctional Mems Sensor”, IEEE Sensors 2014, pp.1749-1752(2014)
• H. Tachibana, S. Kamanaru, T. Mima, M. Sohgawa, T. Kanashima, M. Okuyama, Y. Yamashita, M. Noda, H. Noma, M. Higuchi : “Fabrication and Basic Characteristics of Multiaxial Tactile Sensor with 3 Cantilevers”, T.IEEJapan, Vol.130-E, No.6,pp223-229(2010-6)(inJapanese)橘弘人・釜鳴志朗・美馬達也・寒川雅之・金島岳・奥山雅則・山下馨・野田実・野間春生・樋口誠良:「3方向カンチレバーを用いた多軸触覚センサの作製と基礎特性」,電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌),130巻,6号,p.223-229,2010

タイトルに関連する用語 (6件)： MEMS ,  触覚センサ ,  校正処理 ,  手法 ,  実装 ,  評価