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J-GLOBAL ID：201002209417110029   整理番号：10A0597412

3方向カンチレバーを用いた多軸触覚センサの作製と基礎特性

Fabrication and Basic Characteristics of Multiaxial Tactile Sensor with 3 Cantilevers

著者 (12件)： 橘弘人 (大阪大学基礎工学研究科) ,  釜鳴志朗 (大阪大学基礎工学研究科) ,  美馬達也 (大阪大学基礎工学研究科) ,  寒川雅之 (大阪大学基礎工学研究科) ,  金島岳 (大阪大学基礎工学研究科) ,  奥山雅則 (大阪大学基礎工学研究科) ,  山下馨 (大阪大学基礎工学研究科) ,  山下馨 (京都工芸繊維大学大学院工芸科学研究科) ,  野田実 (大阪大学基礎工学研究科) ,  野田実 (京都工芸繊維大学大学院工芸科学研究科) ,  野間春生 ((株)国際電気通信基礎技術研究所知能ロボティクス研究所) ,  樋口誠良 (オムロン(株)京阪奈イノベーションセンタ)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 130  号： 6  ページ： 223-229 (J-STAGE)  発行年： 2010年 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： MEMS技術により作製したマイクロカンチレバー上にゲージ抵抗層を設け,その微小な抵抗変化を計測することにより,圧力とせん断力を同時に検出できる触覚センサを提案している。本研究では,NiCr薄膜を用いて,エラストマー内にマイクロカンチレバーを埋め込んだ構造の3カンチレバー型触覚センサを作製した。作製した触覚センサは3軸力に対して線形な依存性を有していた。また,本センサを用いて3軸力の検出を行ったところ,力センサによる計測値との誤差はあったものの,符号は全て一致し,3軸全ての力を概ね良好に検出できた。

シソーラス用語： *触覚センサ ,  *ロボット構成要素 ,  マイクロマシニング ,  *MEMS ,  片持梁 ,  ゴム ,  弾性材料 ,  ニクロム ,  多軸 ,  剪断応力 ,  歪計 ,  *センサ

分類 (1件)： ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A)

引用文献 (7件)：

• (1) 「技術戦略マップ2007」,経済産業省
• (2) S. Hackwood, G. Beni,, L. A. Hornak, R. Wolfe, and T. J. Nelson : “Torque-Sensitive Tactile Array for Robotics”, Int. J. Robotics Research, Vol. 2-2, pp. 46-50 (1983)
• (3) K. Kamiyama, K. Vlack, T. Mizota, H. Kajimoto, N. Kawakami, and S. Tachi : “Vision-Based Sensor for Real-Time Measuring of Surface Traction Fields”, IEEE Computer Graphics and Applications, January/February, pp. 68-75 (2005)
• (4) M. Ohka, H. Kobayashi, J. Takata, and Y. Mitsuya : “An Experimental Optical Three-axis Tactile Sensor Featured with Hemispherical Surface”, J. Advanced Mech. Design, Systems, and Manufacturing, Vol. 2, No. 5, pp. 860-873 (2008)
• (5) S. Yoshida, T. Miyazawa, T. Mizota, K. Higuchi, T. Kanashima, and H. Noma : “Development of a Microscopic Three-axis Tactile Sensor: Preliminary Examinations to Establish Sensing Algorithm by Using a Simulated Mockup”, EuroHaptics08, June 11-13 (2008)

タイトルに関連する用語 (6件)： 3方向 ,  カンチレバー ,  多軸 ,  触覚センサ ,  作製 ,  基礎