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J-GLOBAL ID：202102232344481949   整理番号：21A1971718

AsおよびBを共ドープしたSi結晶中に存在するドーパントの構造解析

Structural analysis of dopants in Si by co-doping of As and B

著者 (9件)： 竹内走一郎 (奈良先端科学技術大学院大) ,  古賀峻丞 (奈良先端科学技術大学院大) ,  田中晶貴 (奈良先端科学技術大学院大) ,  ZEXU S. (奈良先端科学技術大学院大) ,  星井拓也 (東京工大) ,  筒井一生 (東京工大) ,  室隆桂之 (高輝度光科学研究セ) ,  橋本由介 (奈良先端科学技術大学院大) ,  松下智裕 (奈良先端科学技術大学院大)
資料名： 日本物理学会講演概要集(CD-ROM)  (日本物理学会春季大会講演概要集(CD-ROM))
巻： 76  号： 1  ページ： ROMBUNNO.PSK-10  発行年： 2021年03月24日 
JST資料番号： S0671C  ISSN： 2189-079X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 現在、光電子ホログラフィーを用いた立体構造解析は様々な分野で用いられ始めている。光電子ホログラムには励起原子周囲の立体構造情報が含まれている。そのため、ホログラムを解析することで励起原子周囲の局所構造が解析可能1)である。これらの理由により...【本文一部表示】

シソーラス用語： *ドーパント ,  ドーピング ,  *ケイ素 ,  *結晶 ,  ヒ素 ,  ホウ素 ,  ホログラフィー ,  ウエハ【IC】 ,  *結晶構造解析 ,  軟X線 ,  共ドーピング ,  ホウ素ドーピング ,  *結晶性シリコン ,  シリコンウエハ
準シソーラス用語： *ケイ素結晶 ,  光電子ホログラフィー ,  ケイ素基板

分類 (1件)： 非金属元素とその化合物の結晶構造  (BK07010N)

タイトルに関連する用語 (4件)： ドープ ,  Si結晶 ,  ドーパント ,  構造解析